正在上海国家会展中心举行的第二十六届中国国际工业博览会上，一台极紫外（EUV）光源系统样机在朗道燧岩展位完成首秀。现场工作人员介绍，这是目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机，国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。不过，该样机距离量产还需3至5年。
EUV光源被称作高端光刻机的“心脏”，是7纳米及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外技术垄断与禁运限制，被视为制约中国高端芯片自主可控的关键环节。此次展出的样机迈出了从实验室走向产业化的关键一步，但3至5年的量产时间表也提示，从样机验证到稳定量产之间仍有大量工程化难题需要解决。
本届工博会创新科技馆集中展示了百余项上海科创成果，覆盖底层技术、产业转化与民生应用。除EUV光源外，深蓝探索科技集团展出了中国首艘、全球第二艘专用运载火箭海上回收船“星际归航”号。该船专为可重复使用火箭打造，配备DP2级动力定位系统，可在四级海况下高精度“接住”火箭一子级，并采用无人值守遥控模式，回收作业时船上无需人员留守。现场工作人员表示，火箭可回收重复使用能大幅拉低发射成本，这艘船的投入使用是中国商业航天迈向可重复使用时代的重要标志。
在产业转化展区，上海理工大学李维杰团队研发的升降式程序降温仪瞄准细胞冻存设备的进口替代。该设备控温精度可达±1℃，实现室温至-196℃宽温域调控，科研人员可自定义冻存方案；整机仅8千克、功率仅60瓦，无需配套大型制冷设备，技术达到国际先进水平，目前已具备量产能力。
工业机器人展区，华翔启源展示了用轻量化新材料打造的机器狗。该企业自主研发的3D打印材料强度与普通金属相当，但重量减轻一半，并具备耐腐蚀、耐磨损特性，应用于机器人可使设备寿命延长三倍，同时降低电机负载、提升续航。据介绍，该类材料过去长期依赖进口，企业明年将实现量产，投产后将成为全国乃至全球产量最高的同类材料生产基地。
上海达充科技则展示了大功率无线充电技术。与消费级手机无线充电不同，这套工业级方案能量转化效率达90%以上，远高于消费级的60%—70%，充电发热大幅降低，且无线设计避免了传统触点充电的短路风险，可适配潮湿、高粉尘等复杂工业环境。目前该技术已与多家机器狗厂商达成数千套规模的交付订单。
城市治理与医疗领域同样有成果展出。由上海市公安局交通管理总队与上海电科智能联合打造的城市道路交通数智大脑，基于增强学习大模型，形成“感知—决策—控制—优化”全闭环，可将拥堵异常发现从5至10分钟压缩至5至10秒，目前覆盖上海1802个路口，道路平均车速从21.87公里/小时提升至24.53公里/小时，通行效率提升12.9%。
医疗方面，明视医疗带来植入式脑机接口视觉重建系统，绕过受损眼球与视神经，直接刺激大脑初级视觉皮层，为全盲患者重建基础功能性视觉，目前已完成4例临床验证，患者可实现光感识别、轮廓辨认与避障行走。臻复医疗联合复旦大学附属眼耳鼻喉科医院专家研发的干眼理疗仪，采用液体加热技术，12分钟即可完成睑板腺疏通，已纳入最新《中国干眼临床诊疗专家共识》，获得上海市首张二类创新医疗器械注册证。瑞金医院内分泌科与近观科技联合研发的无创血糖仪，无需采血，手部贴合设备1分30秒即可测出血糖值，目前已在瑞金医院开展临床研究。
从EUV光源样机到海上火箭回收船，再到医疗与城市治理应用，本届工博会呈现出一条从底层硬科技到产业落地、再到民生场景的完整链条。对关注AI与半导体产业的观察者而言，EUV光源国产化率的提升是先进制程自主化进程中的一个节点，但量产时间表仍取决于后续工程验证与产业链配套的成熟度。