正在上海國家會展中心舉行的第二十六屆中國國際工業博覽會上，一台極紫外（EUV）光源系統樣機在朗道燧巖展位完成首秀。現場工作人員介紹，這是目前公開展示中進度最靠前的國產EUV光源樣機，國產化率達90%，絕大多數核心零部件為自主研發，技術路線與國際領先廠商一致，可用於晶片曝光測試。不過，該樣機距離量產還需3至5年。
EUV光源被稱作高階光刻機的“心臟”，是7奈米及以下先進製程晶片製造的三大核心零部件之一，長期受海外技術壟斷與禁運限制，被視為制約中國高階晶片自主可控的關鍵環節。此次展出的樣機邁出了從實驗室走向產業化的關鍵一步，但3至5年的量產時間表也提示，從樣機驗證到穩定量產之間仍有大量工程化難題需要解決。
本屆工博會創新科技館集中展示了百餘項上海科創成果，覆蓋底層技術、產業轉化與民生應用。除EUV光源外，深藍探索科技集團展出了中國首艘、全球第二艘專用運載火箭海上回收船“星際歸航”號。該船專為可重複使用火箭打造，配備DP2級動力定位系統，可在四級海況下高精度“接住”火箭一子級，並採用無人值守遙控模式，回收作業時船上無需人員留守。現場工作人員表示，火箭可回收重複使用能大幅拉低發射成本，這艘船的投入使用是中國商業航天邁向可重複使用時代的重要標誌。
在產業轉化展區，上海理工大學李維傑團隊研發的升降式程式降溫儀瞄準細胞凍存裝置的進口替代。該裝置控溫精度可達±1℃，實現室溫至-196℃寬溫域調控，科研人員可自定義凍存方案；整機僅8千克、功率僅60瓦，無需配套大型製冷裝置，技術達到國際先進水平，目前已具備量產能力。
工業機器人展區，華翔啟源展示了用輕量化新材料打造的機器狗。該企業自主研發的3D列印材料強度與普通金屬相當，但重量減輕一半，並具備耐腐蝕、耐磨損特性，應用於機器人可使裝置壽命延長三倍，同時降低電機負載、提升續航。據介紹，該類材料過去長期依賴進口，企業明年將實現量產，投產後將成為全國乃至全球產量最高的同類材料生產基地。
上海達充科技則展示了大功率無線充電技術。與消費級手機無線充電不同，這套工業級方案能量轉化效率達90%以上，遠高於消費級的60%—70%，充電發熱大幅降低，且無線設計避免了傳統觸點充電的短路風險，可適配潮溼、高粉塵等複雜工業環境。目前該技術已與多家機器狗廠商達成數千套規模的交付訂單。
城市治理與醫療領域同樣有成果展出。由上海市公安局交通管理總隊與上海電科智慧聯合打造的城市道路交通數智大腦，基於增強學習大模型，形成“感知—決策—控制—最佳化”全閉環，可將擁堵異常發現從5至10分鐘壓縮至5至10秒，目前覆蓋上海1802個路口，道路平均車速從21.87公里/小時提升至24.53公里/小時，通行效率提升12.9%。
醫療方面，明視醫療帶來植入式腦機介面視覺重建系統，繞過受損眼球與視神經，直接刺激大腦初級視覺皮層，為全盲患者重建基礎功能性視覺，目前已完成4例臨床驗證，患者可實現光感識別、輪廓辨認與避障行走。臻復醫療聯合復旦大學附屬眼耳鼻喉科醫院專家研發的乾眼理療儀，採用液體加熱技術，12分鐘即可完成瞼板腺疏通，已納入最新《中國乾眼臨床診療專家共識》，獲得上海市首張二類創新醫療器械註冊證。瑞金醫院內分泌科與近觀科技聯合研發的無創血糖儀，無需採血，手部貼合裝置1分30秒即可測出血糖值，目前已在瑞金醫院開展臨床研究。
從EUV光源樣機到海上火箭回收船，再到醫療與城市治理應用，本屆工博會呈現出一條從底層硬科技到產業落地、再到民生場景的完整鏈條。對關注AI與半導體產業的觀察者而言，EUV光源國產化率的提升是先進製程自主化程序中的一個節點，但量產時間表仍取決於後續工程驗證與產業鏈配套的成熟度。