AI算力正在直接推動鍵合裝置的價值重估。按Besi的統計口徑,2025年全球鍵合裝置市場規模約23億美元,在後道封裝裝置市場中佔比約44%,是單一價值量最大的裝置類別,高於刻蝕、沉積、檢測等任一獨立環節。這一結構意味著,當先進封裝在整體封裝市場中的比例上升時,鍵合裝置獲得的增量並非線性,而是被「價值佔比高×結構佔比上升」雙重放大。

從技術序列看,鍵合裝置本身也在換擋:從1975年的引線鍵合、1995年的倒裝鍵合,到2012年由Intel與ASMPT聯合開發的量產型熱壓鍵合(TCB),再到2018年成型的混合鍵合,共同方向是互連密度持續提升、單顆晶片互連數量指數級增長。競爭格局上,ASMPT佔18%、Besi佔17%、K&S佔15%,頭部三家咬合在15%至18%的窄區間,EVG與SUSS分別佔9%和7%,前五名合計約66%。這種均勢在傳統環節意味著份額遷移緩慢,但在TCB與混合鍵合這兩個增量賽道,反而是一種尚未被定價的期權——先完成客戶工藝驗證的廠商,可能在幾個季度內取得遠超1至3個百分點的份額躍升。

訂單端已經給出硬證據。Besi二季度營業收入2.499億歐元,同比增長68.7%、環比增長35.2%;新增訂單2.929億歐元,同比增長128.8%;毛利率65.7%,淨利潤8,900萬歐元、同比增長177.3%。上半年累計收入4.347億歐元、淨利潤1.406億歐元,同比分別增長48.8%和121.1%。過去十二個月訂單總額達9.876億歐元,創歷史新高,AI相關係統訂單在上半年訂單中的佔比從去年同期的約50%提升至約60%。

ASMPT口徑更寬,結構同樣清晰:二季度收入6.30億美元、同比增長52.1%,新增訂單9.036億美元、同比增長97.6%;上半年累計收入11.38億美元、訂單16.31億美元,同比增長42.5%和85.1%,訂單出貨比達到1.43,為2021年上半年以來最高。其中先進封裝收入3.39億美元、同比增長17%,佔集團收入30%;半導體解決方案分部的先進封裝訂單同比翻倍。2025年全年,ASMPT的TCB業務收入同比增長146%。兩家公司的訊號並排看,TCB放量已不是預期,而是落在訂單與在手合同上的事實,驅動來自HBM廠商重複採購、先進邏輯客戶對芯粒到基板與芯粒到晶圓裝置的大宗訂單,以及800G及以上光模組擴產帶來的光互連貼裝需求。

混合鍵合客戶數從2025年末的15家增至21家,分佈於邏輯、儲存、共封裝光學和消費電子四類應用,說明該技術已脫離單一場景驗證階段。但客戶數增長的第一年(2021至2023年)僅從2家增至8家,商業驗證期長達三年,對匯入節奏的樂觀假設應尊重這段歷史。

混合鍵合的技術定義是讓晶片通過銅-銅直接鍵合、同時以氧化物-氧化物完成介質層連線,取消微凸塊這一中間結構,從而讓互連間距低一個數量級、寄生電容與電阻同步下降。市場最普遍的質疑是裝置價格過高,但真正決定量產經濟性的是單互連成本而非裝置採購價。Besi資料顯示,混合鍵合的單互連成本僅為TCB方案的約1/10;機制在於TCB依賴微凸點,堆疊層數從8層邁向16層甚至20層時,微凸點數量指數級增長,且每層都需獨立的助焊劑處理、迴流與清洗工序,而銅-銅直接鍵合把互連邊際成本壓得很低。

那為何尚未放量?約束不在技術可行性,而在HBM4的焊盤間距為10微米,這一間距上切換混合鍵合併無成本優勢。2026年1月,JEDEC將HBM封裝高度上限從720微米提高至775微米,多出的空間使16層堆疊的HBM4可用成熟微凸塊工藝完成組裝;據TrendForce,JEDEC正考慮進一步將上限提高至約900微米。這把混合鍵合的匯入從HBM4推後到HBM4E與HBM5,推遲約一到兩年。SK海力士在16層HBM4上繼續採用先進整體迴流與模塑底部填充工藝,把混合鍵合保留為備用方案,同時驗證12層混合鍵合樣品;其在CES 2026展示的16層HBM4樣品未採用全混合鍵合工藝。

混合鍵合在工程上分兩條路線。晶圓對晶圓(W2W)將兩片完整圖形化晶圓面對面鍵合後再切割,對準只在晶圓級做一次,可實現最窄間距與最高效率,但要求兩片晶圓承載相同尺寸晶片且無法剔除缺陷晶片;晶片對晶圓(D2W)把已切割並測試過的單顆晶片翻轉對準到目標晶圓,可選已知良品晶片、支援不同尺寸與節點混合整合,代價是逐顆加工、產出效率較低。W2W是成熟應用基本盤,索尼三層堆疊CIS與3D NAND是主力場景,長江儲存Xtacking架構與鎧俠CBA結構均屬此類;D2W則對應彈性最大的增量場景,包括HBM堆疊、3D Logic與Chiplet異構整合。

產業鏈巨頭的路線圖已收斂,分歧只在時間表。三星在混合鍵合上投入最激進,在韓國平澤P5工廠建設D2W混合鍵合量產線,已選定Besi為首要合作伙伴並引進50台D2W混合鍵合機,其子公司SEMES同時收到量產線供應訂單,計劃在平澤建設兩條混合鍵合量產線;三星計劃從HBM4E的16層堆疊開始應用混合鍵合,並在GTC 2026給出混合鍵合相對熱壓鍵合可將熱阻降低20%以上的資料,同時計劃2026年量產採用混合鍵合的V10 NAND。SK海力士在2026年3月訂購量產型混合鍵合裝置,預計從下一代HBM產品開始應用,並在印第安納州投資38.7億美元建設先進封裝工廠,目標2028年投產。美光處於驗證階段,已在新加坡動工建設價值70億美元的HBM先進封裝工廠,預計2027年前後投產。

邏輯側的量產已經發生。台積電SoIC平台在產量上領先,其間距路線圖為2023年9微米、2025年6微米、2029年4.5微米,第二代SoIC增加面對面鍵合;節點堆疊從當前N3P-on-N4走向2028年N2P-on-N2P與2029年A14-on-A14。台積電正建設嘉義AP7園區作為最大先進封裝基地,目標2026年投產。其負責先進封裝的高管Luke Lin給出兩項判斷:HBM5可能比市場預期更早催生混合鍵合需求,HBM5約在2028年量產,裝置與材料需求會提前在2027至2028年顯現;公司2026年SoIC擴產規模會低於最初規劃,但2027年末至2028年會重回激進擴產節奏。

把裝置需求按時間切分,可得到三個性質不同的視窗。第一視窗(2026至2027年)由TCB與傳統工藝主導,儲存廠商仍偏向熱壓鍵合,同時進行HBM4E前期驗證與小規模訂單,資產屬性是「業績兌現」,關鍵變數是交付與驗收節奏。第二視窗(2028年前後)是Fluxless TCB與混合鍵合的交叉期,助焊劑在40微米以下間距的完全清洗難度快速上升,無助焊劑熱壓鍵合成為過渡方案,同時HBM4E與定製型HBM的base die與DRAM之間開始使用D2W混合鍵合,資產屬性是「訂單切換」。第三視窗(2028至2030年及以後)混合鍵合進入規模化,HBM5的20層堆疊與3D Logic高密度互連共同推動D2W放量,初期預計採用TCB與混合鍵合混用。

真正的產業變數並非「是否採用混合鍵合」,而是混合鍵合驅動的裝置平台化——把鍵合機從單一主機變成整合清洗、等離子活化與原位計量的一體化作業系統,從而將價值量向CMP、量測、清洗等中道環節外溢。TCB決定未來兩年的業績兌現,混合鍵合決定三到五年的估值中樞,這條傳導鏈是本輪產業鏈價值重估中最容易被低估的一環。