據荷蘭媒體NL Times與NU.nl報道,美國政府正準備向荷蘭政府施壓,要求其禁止ASML向中國銷售幾乎所有晶片製造裝置,包括深紫外光(DUV)光刻機。此舉旨在阻礙中國在人工智慧、超級計算機及軍事技術領域的發展。此前,荷蘭政府在美國壓力下已禁止ASML向中國出口最先進的極紫外光(EUV)光刻裝置,自2019年起ASML便未向中國出貨任何EUV裝置,並限制部分先進DUV光刻機的銷售。
美國國會正在審議跨黨派的《硬體技術管制多邊協調法案》(MATCH Act),試圖將施壓轉化為直接脅迫,強制盟國與美國出口管制同步。若該法案通過,ASML不僅無法再向中國銷售DUV光刻裝置,甚至已交付裝置的維護與保養也將被禁止。若荷蘭拒絕執行,美國將對其實施制裁。由於ASML高度依賴美國供應鏈,美方曾威脅中斷供應,這成為迫使荷蘭政府妥協的關鍵。
荷蘭官員正在華盛頓激烈遊說,試圖廢除該條款,但因法案獲得美國民主與共和兩黨支援,且將併入幾乎必定通過的國防預算案,挽回機會十分渺茫。值得注意的是,該法案對美國本土企業存有寬限空間。中國此前發現,結合先進蝕刻技術與DUV光刻機,仍可生產出通常需要EUV才能製造的先進晶片。雖然美方在2024年對此類蝕刻機實施部分限制,但並未徹底禁運。而在最終版《MATCH法案》中,限制美企向中國銷售先進蝕刻機的廣泛禁令已被刪除,但對ASML的DUV禁令卻依然保留,顯現出政策上的雙重標準。
在面臨斷供與斷維修的威脅下,中國半導體產業正加速自主化。上海宇量盛科技已於2026年7月開始限量生產浸潤式DUV光刻機,預計年底前交付5套系統,目標在2027年前生產約20台。目前,包括中芯國際(SMIC)、長鑫儲存(CXMT)及華虹半導體等中國晶片大廠均已列入客戶名單。
分析指出,若美方禁令未立即實施,對中國未來的DUV裝機影響有限。若能爭取到足夠時間,中國極有可能實現DUV領域的完全自主化。但若禁令迅速落實,短期內仍將對高度依賴ASML裝置的中國晶片商造成不小的過渡挑戰。這場圍繞光刻技術的拉鋸戰,將決定未來全球半導體產業鏈的全新版圖。