江苏鲁汶仪器股份有限公司(简称“鲁汶仪器”)的科创板IPO申请已获上交所受理,这家半导体前道设备供应商正式进入交易所审核流程。公司拟通过此次上市募集25亿元,用于建设研发总部与制造基地,并投入集成电路装备研发项目。
鲁汶仪器成立于2015年9月11日,注册地位于江苏省泰州市,是国家级重点专精特新“小巨人”企业。公司专注于半导体前道设备的研发、生产和销售,核心产品包括离子束设备和电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备,辅以化学气相沉积(CVD)设备和气相分解金属沾污收集(VPD)设备,为集成电路制造提供工艺解决方案。
根据弗若斯特沙利文的数据,2025年鲁汶仪器在中国离子束设备市场的占有率达到28.4%,排名国内第一,其他主要参与者均为境外厂商。其刻蚀设备LMEC-300已被列入2022年江苏省首台(套)重大装备名单,整体技术被评定为国内领先、国际先进水平。公司是继北方华创和中微公司之后,国内少数能够自研12英寸刻蚀设备并实现主流客户验证和复购的企业。
在股权结构上,本次IPO发行前,国投集新持有鲁汶仪器7.29%的股份。国投集新由国家集成电路产业投资基金三期股份有限公司出资99.9%,这标志着大基金三期在半导体设备领域的又一布局。同时,中科院微电子所持股2.98%,长存产业基金持股2.58%。公司的实际控制人为创始人、董事长兼总经理许开东,他通过比利时鲁汶合计控制公司25.11%的股份表决权。许开东毕业于北京大学和比利时鲁汶大学,拥有超过20年的国内外半导体研发与管理经验。
从财务数据看,鲁汶仪器在2023年、2024年和2025年的营业收入分别为2.07亿元、2.68亿元和6.99亿元,三年累计营收超过11亿元,增长势头明显。然而,公司同期净利润均为负值,分别为-1.15亿元、-2.1亿元和-2.12亿元,连续三年未能实现盈利。研发费用则逐年递增,从1.2亿元升至2.38亿元,反映出公司对技术突破的持续投入。
产品收入结构上,ICP刻蚀设备已超越离子束设备成为第一大营收来源。2025年,ICP刻蚀设备贡献营收3.9亿元,占总营收的57.94%;离子束设备贡献2.08亿元,占比30.9%。两类核心设备的合计收入占比从2023年的59.25%提升至2025年的88.83%。离子束设备的毛利率保持在较高水平,2025年为54.57%,而ICP刻蚀设备因新产品验证让利等因素,毛利率一度为负,拖累了公司整体毛利率。报告期内,公司主营业务毛利率分别为33.05%、18.27%和24.13%,低于行业可比公司平均水平。
客户方面,鲁汶仪器的下游覆盖存储、逻辑、特色工艺晶圆厂及光学显示产业,客户包括中科院、舜宇光学、歌尔光学及芯粤能等。报告期内,前五大客户收入占比从53.03%攀升至72.86%,显示出客户集中度有所提高。公司与中科院、舜宇光学等部分客户存在股权投资关联。
鲁汶仪器曾在2023年启动上市辅导但未申报,后于2026年重新启动辅导并正式递交科创板材料。此次IPO是其首次进入交易所审核阶段。截至2025年末,公司拥有研发人员233人,占员工总数的44.38%,境内外专利407项,其中发明专利273项。
对于国内半导体前道设备赛道而言,鲁汶仪器的上市进程提供了一个观察特种刻蚀与离子束工艺设备国产化的样本。公司虽已在细分市场取得国内领先地位,但受制于经营规模、客户导入周期和新品验证让利等因素,盈利拐点尚未到来。后续其能否借助资本力量缩小与国际厂商的差距、改善盈利水平,将与下游晶圆厂的设备采购节奏及国产替代进度紧密相关。