IBM 在半导体制造领域投下了一枚重磅炸弹。该公司宣布,已成功生产出采用 0.7 纳米级(7 埃) 制造工艺的首款测试芯片,这标志着整个行业首次迈入亚 1 纳米时代。这项突破的核心在于一种名为 纳米堆叠晶体管 的全新架构,它从根本上改变了芯片上晶体管的基本布局方式。
与当前所有现代工艺中将 N 型(NFET)和 P 型(PFET)晶体管并排置于同一有源器件层不同,IBM 的纳米堆叠概念将这两种互补的晶体管分别制造在两片不同的晶圆上,然后通过超薄介电键合技术将它们垂直整合在一起。这种从 2D 平面布局向 3D 垂直堆叠布局的转变,极大地缩减了 CMOS 单元对的横向占用面积,从而实现了晶体管密度的翻倍式增长,而无需依赖传统的平面微缩。
这一架构带来的性能增益是巨大的。IBM 表示,与其在 2021 年推出的基于 纳米片环栅晶体管 的 2 纳米级节点相比,新的 0.7 纳米级工艺可提供高达 50% 的性能提升和 70% 的能效提升。此外,新架构的 SRAM 密度也提高了 40%,逻辑晶体管的密度改善则更为显著,这在当前技术环境下是极难实现的成就。
实现这些增益的关键在于独立优化。由于 N 型和 P 型晶体管对材料、应变工程和工艺条件的要求不同,在传统单一晶圆上同时制造它们会限制各自的优化潜力。IBM 的方法将二者分离,使得每一层都能使用不同的沟道材料、工艺条件,甚至不同的几何形状,从而将各自的性能推向极致。尽管从概念上类似于业界探讨的 CFET,但 IBM 这种双晶圆键合的构建方式与单片式 CFET 有着根本区别。
然而,这项革命性技术也伴随着一系列严峻的工程挑战。首先,对齐与键合良率是最大的难题,两片承载着先进逻辑电路的晶圆必须以极高的精度对齐,键合界面上的任何缺陷都可能导致整个堆叠报废。其次,拥有两个有源器件层会使布线、供电和散热的复杂度急剧增加,尤其是远离散热器的那一层,其冷却将变得更加困难。最后,成本是决定其能否商用的关键。使用两片先进的前道工艺晶圆,加上额外的键合和减薄步骤,将显著推高制造成本,并可能影响整体良率。
因此,业内分析认为,这种高成本、高复杂度的技术路径,可能首先只会应用于那些对性能和能效有极致要求、且芯片尺寸接近光罩极限的重型数据中心 AI 解决方案,而非主流的客户端处理器。对于其他应用场景,单片式 CFET 或许更具经济性。值得注意的是,IBM 的这项 0.7 纳米级工艺是在纽约州奥尔巴尼的半导体研究设施中开发的,并未依赖高数值孔径极紫外光刻技术,而是使用了成熟的低数值孔径 EUV 系统,这有助于在当前阶段获得更高的良率。
需要明确的是,IBM 的制造技术通常是一套竞争前知识产权、专利和研发诀窍,而非可直接授权并在大规模晶圆厂快速部署的生产工艺。例如,日本公司 Rapidus 就曾授权了 IBM 的 2 纳米级技术。IBM 暗示其下一代节点将使用高数值孔径 EUV 光刻,并暗示其未来五年内投入生产。这项亚 1 纳米技术的发布,不仅展示了晶体管架构创新的巨大潜力,也为后摩尔时代的 AI 算力竞赛提供了极具想象力的硬件基础。