IBM 在半導體制造領域投下了一枚重磅炸彈。該公司宣佈,已成功生產出採用 0.7 納米級(7 埃) 製造工藝的首款測試芯片,這標誌著整個行業首次邁入亞 1 納米時代。這項突破的核心在於一種名為 納米堆疊晶體管 的全新架構,它從根本上改變了芯片上晶體管的基本佈局方式。

與當前所有現代工藝中將 N 型(NFET)和 P 型(PFET)晶體管並排置於同一有源器件層不同,IBM 的納米堆疊概念將這兩種互補的晶體管分別製造在兩片不同的晶圓上,然後通過超薄介電鍵合技術將它們垂直整合在一起。這種從 2D 平面佈局向 3D 垂直堆疊佈局的轉變,極大地縮減了 CMOS 單元對的橫向佔用面積,從而實現了晶體管密度的翻倍式增長,而無需依賴傳統的平面微縮。

這一架構帶來的性能增益是巨大的。IBM 表示,與其在 2021 年推出的基於 納米片環柵晶體管 的 2 納米級節點相比,新的 0.7 納米級工藝可提供高達 50% 的性能提升70% 的能效提升。此外,新架構的 SRAM 密度也提高了 40%,邏輯晶體管的密度改善則更為顯著,這在當前技術環境下是極難實現的成就。

實現這些增益的關鍵在於獨立優化。由於 N 型和 P 型晶體管對材料、應變工程和工藝條件的要求不同,在傳統單一晶圓上同時製造它們會限制各自的優化潛力。IBM 的方法將二者分離,使得每一層都能使用不同的溝道材料、工藝條件,甚至不同的幾何形狀,從而將各自的性能推向極致。儘管從概念上類似於業界探討的 CFET,但 IBM 這種雙晶圓鍵合的構建方式與單片式 CFET 有著根本區別。

然而,這項革命性技術也伴隨著一系列嚴峻的工程挑戰。首先,對齊與鍵合良率是最大的難題,兩片承載著先進邏輯電路的晶圓必須以極高的精度對齊,鍵合界面上的任何缺陷都可能導致整個堆疊報廢。其次,擁有兩個有源器件層會使佈線、供電和散熱的複雜度急劇增加,尤其是遠離散熱器的那一層,其冷卻將變得更加困難。最後,成本是決定其能否商用的關鍵。使用兩片先進的前道工藝晶圓,加上額外的鍵合和減薄步驟,將顯著推高製造成本,並可能影響整體良率。

因此,業內分析認為,這種高成本、高複雜度的技術路徑,可能首先只會應用於那些對性能和能效有極致要求、且芯片尺寸接近光罩極限的重型數據中心 AI 解決方案,而非主流的客戶端處理器。對於其他應用場景,單片式 CFET 或許更具經濟性。值得注意的是,IBM 的這項 0.7 納米級工藝是在紐約州奧爾巴尼的半導體研究設施中開發的,並未依賴高數值孔徑極紫外光刻技術,而是使用了成熟的低數值孔徑 EUV 系統,這有助於在當前階段獲得更高的良率。

需要明確的是,IBM 的製造技術通常是一套競爭前知識產權、專利和研發訣竅,而非可直接授權並在大規模晶圓廠快速部署的生產工藝。例如,日本公司 Rapidus 就曾授權了 IBM 的 2 納米級技術。IBM 暗示其下一代節點將使用高數值孔徑 EUV 光刻,並暗示其未來五年內投入生產。這項亞 1 納米技術的發佈,不僅展示了晶體管架構創新的巨大潛力,也為後摩爾時代的 AI 算力競賽提供了極具想象力的硬件基礎。