隨著先進製程推進到 2nm 及以下,晶片效能的瓶頸正從“電晶體能否繼續縮小”轉向“電源能否穩定、低損耗地送達電晶體”。背面供電網路(BSPDN,Backside Power Delivery Network) 被視為破解這一瓶頸的關鍵技術路徑,其核心思路是將供電與訊號在物理上分離,從而改善 IR Drop(電壓降)、效能與功耗表現。

BSPDN 的邏輯在於,傳統晶片的供電網路與訊號佈線都位於電晶體正面,隨著製程微縮,供電線路擠佔訊號空間,導致電壓傳輸損耗增大、訊號完整性受損。背面供電則將電源線路移至晶圓背面,為正面訊號佈線騰出空間,同時縮短供電路徑、降低電阻,從而提升能效與效能。對於依賴高算力的 AI 晶片 而言,這一改進尤為關鍵。

目前,台積電Intel三星 三大晶圓代工廠均在推進 BSPDN 的量產佈局。台積電計劃在 N2 製程引入背面供電,Intel 的 PowerVia 技術已進入量產準備階段,三星也宣佈將在其 2nm 節點採用類似方案。三大廠的量產節奏雖有差異,但共同指向 2026 年 作為 BSPDN 進入量產匯入期的關鍵節點。

從產業鏈看,BSPDN 的落地將沿 裝置材料EDA 三條線索重塑受益環節。裝置端,背面供電需要額外的晶圓鍵合、減薄、刻蝕等工藝,相關裝置需求將顯著增加;材料端,新的介電層、金屬填充材料等將帶來增量市場;EDA 端,設計工具需支援背面供電的佈局佈線最佳化。分析認為,裝置與材料環節的資本開支彈性將先於晶片銷售兌現,成為產業鏈中率先受益的部分。

總體而言,BSPDN 是 GAA/CFET 時代落地的“必備配套技術”,其量產匯入將深刻影響下一代先進晶片的架構設計與產業投資節奏。對於關注 AI 算力基礎設施的投資者而言,BSPDN 的推進進度與三大廠的量產時間表,將是判斷相關裝置、材料公司業績彈性的重要觀察視窗。